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▶A64.5401 ofrece 1) El software de la medida y de análisis con la operación integrada no necesita cambiar el interfaz para la operación, y los parámetros de la configuración se fijan por adelantado antes de la medida. El software cuenta automáticamente los datos de la medida y proporciona la función de la exportación del informe de los datos, que puede realizar rápidamente la función de la medida del lote. 2) Proporcione la función automática de la medida del multi-área, la medida del lote, el foco automático, el ajuste automático del brillo y otras funciones automáticas. 3) Función de costura de la medida Provide. 4) Proporcione las funciones de proceso de datos de los cuatro módulos del ajuste de posición, de la corrección, de la filtración y de la extracción. El ajuste de posición incluye funciones tales como imagen que nivela y que duplica; la corrección incluye funciones tales como filtración espacial, retocar, y denoising máximo; la filtración incluye funciones tales como retiro de la forma, estándar que filtra, y filtración espectral; la extracción incluye funciones tales como extracción de regiones y extracción de perfiles. 5) Proporcione cinco funciones importantes del análisis incluyendo análisis geométrico del perfil, análisis de la aspereza, análisis de estructura, análisis de frecuencia y análisis de función. Entre ellos, el análisis geométrico del perfil incluye características tales como altura del paso, distancia, ángulo, curvatura y otras funciones, y rectitud, evaluación de la tolerancia de la redondez y otras funciones; el análisis de la aspereza incluye la línea aspereza según los estándares internacionales ISO4287, aspereza de superficie ISO25178, ISO12781 que nivela grado y otras funciones del análisis del lleno-parámetro; el análisis estructural incluye el volumen del poro y profundidad del canal, etc.; el análisis de frecuencia incluye funciones tales como dirección de la textura y análisis de espectro; el análisis funcional incluye funciones tales como parámetros de SK y parámetros del volumen. 6) Proporcione las funciones auxiliares del análisis tales como análisis de la uno-llave y análisis con múltiples filas, las plantillas determinadas del análisis, combinados con las funciones automáticas de la medida y de la medida del lote proporcionadas en la medida, puede realizar la medida del lote de los dispositivos pequeños de la precisión y obtener directamente los datos del análisis. |
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El microscopio confocal es un instrumento de prueba usado para la medida del nanómetro de los diversos dispositivos y materiales de la precisión. Se basa en el principio de tecnología confocal, combinado con tecnología porosa de la exploración paralela del disco, el módulo de exploración exacto de la Z-dirección, 3D que modela algoritmo, el etc. para realizar la exploración sin contacto en la superficie del dispositivo y para establecer una imagen superficial 3D. La imagen 3D de la superficie del dispositivo se realiza a través del software del sistema. La informática y análisis, y obtenga el 2.o y los parámetros 3D que reflejan la calidad superficial del dispositivo, para realizar el instrumento óptico de la inspección para la medida 3D de la topografía superficial del dispositivo. |
| Hoja de especificación técnica confocal del microscopio A64.5401 | ||
| Principio de medición | Sistema óptico confocal | |
| Lente objetiva del microscopio | 10× (estándar), 20×, 50×, 100× (opcionales) | |
| Campo visual | 160×160 μm~1.6×1.6 milímetro | |
| Marco de exploración rate*1 | ≥10HZ | |
| Medida de la altura | Repeatability*2 | 20×: 40nm; 50×: 20nm; 100×: 20nm |
| Accuracy*2 | μm del ± (0.2+L/100) | |
| Resolución de pantalla | 0.5nm | |
| Medida de la anchura | repeatability*3 | 20×: 100nm; 50×: 50nm; 100×: 30nm |
| Accuracy*3 | ± el 2% | |
| Resolución de pantalla | 1nm | |
| Plataforma XY de la dislocación | tamaño | 210×210 milímetro |
| Gama de mudanza | 100×100 milímetro | |
| Carga | 10kg | |
| Método de control | eléctrico | |
| gama de movimiento de la Z-dirección | 100 milímetros | |
| Torre de la lente objetiva | 5-hole motorizó | |
| Iluminación | fuente de luz | LED |
| Salida máxima | 840mW | |
| Dimensiones | 590×390×540m m | |
| Peso total | 45kg | |
| Fuente de alimentación | AC220V/50Hz | |
| Ambiente de trabajo | Temperatura 10℃~35℃, minutos de /15 <1>del ℃ de la pendiente de temperatura, humedad el 30~80%, vibración <0> | |
| Aviso: *1 utilizan una lente 20x para medir un bloque de la muestra del paso del estándar de los 4.7µm en una temperatura ambiente de 20±2°C. *2 miden el bloque de la muestra del paso del estándar de los 4.7µm en una temperatura ambiente de 20±2°C con una lente de 20 veces o más. *3 utilizan una lente de 20 veces o más de medir la muestra estándar del retículo en una temperatura ambiente de 20±2°C. |
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| Especificaciones de la lente objetiva | Abertura numérica modelo de la distancia de funcionamiento del campo visual (W.D.) (N.A.) | |
| μm 10,6 milímetro 0,25 de 10X 1600×1600 | ||
| μm 1,3 milímetro 0,40 de 20X 800×800 | ||
| μm 0,38 milímetro 0,75 de 50X 320×320 | ||
| μm 0,21 milímetro 0,90 de 100X 160×160 | ||
| Lista de la configuración de producto Configuración estándar: |
1) Cuerpo principal A64.5401 | |
| 2) Etapa XY de la dislocación: etapa automática de la dislocación | ||
| 3) Ordenador de la marca | ||
| 4) Módulo de la calibración del sistema | ||
| 5) Palanca de mando | ||
| 6) Software confocal del microscopio | ||
| 7) Caja de los accesorios del instrumento | ||
| 8) Manual del producto | ||
| 9) Certificado del producto, tarjeta de garantía | ||
| Opcional | 1) Lente objetiva de medición: 20×, 50×, 100× | |
| 2) Tabla de la succión del vacío (para las obleas de semiconductor): 6 pulgadas, 8 pulgadas; | ||
| 3) Módulo de la función de la medida de la medida que empalma automática (requiere la ayuda del hardware) | ||
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Realice las características superficiales de la topografía tales como contornos superficiales, defectos de superficie, lleve las condiciones, las condiciones de la corrosión, la llanura, la aspereza, la ondulación, los huecos del poro, las alturas del paso, las deformaciones de doblez, y las condiciones de proceso de diversos productos, componentes y materiales. Medida y análisis. |
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▶4,1 alta precisión y alta repetibilidad El sistema de medida integrado por los sensores de poco ruido de la proyección de imagen, componentes y codificadores ópticos de alto rendimiento, y algoritmos excelentes de la reconstrucción 3D para asegurar la medida que cumple los estándares; arraigado en la industria de la medida durante muchos años, la misma línea de diseño industrial y el nivel de proceso superior para asegurar a un nivel la repetibilidad de la medida. |
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▶4,2 exploración paralela de alta velocidad La exploración paralela de múltiples puntos del perfil usando el disco poroso mejora grandemente la eficacia del trabajo comparada con el esquema de exploración monopunto tradicional del galvanómetro, y la exploración se puede terminar en solamente algunos segundos. |
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▶4,3 adaptabilidad fuerte El sistema de medida tiene un rango dinámico ultraalto para diversas actitudes de la muestra, la complejidad de la superficie, y la reflectividad superficial.
▶4,4 software integrado de la medida y de análisis 1) La medida y el análisis se actúan en el mismo interfaz, sin la transferencia, los datos de la medida se cuenta automáticamente, y la función de la medida rápida del lote se observa; 2) La ventana visual es conveniente para que los usuarios observen el proceso de exploración en tiempo real; 3) Combinado con la función automática de la medida de la plantilla de encargo del análisis, puede terminar automáticamente el proceso de la medida y del análisis de la multi-región; 4) Los cinco módulos funcionales del análisis geométrico, del análisis de la aspereza, del análisis de estructura, del análisis de frecuencia, y del análisis de función son completos; 5) el análisis del Uno-tecleo, análisis con múltiples filas, los artículos libremente combinados del análisis se ahorra como plantillas del análisis, análisis del uno-tecleo de las muestras del lote, y se proporcionan el análisis de datos y las funciones estadísticas de la carta; 6) Más de 300 2.os y parámetros 3D se pueden medir según ISO/ASME/EUR/GBT y otros estándares. |
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▶4,5 palanca de mando de la precisión La palanca de mando integrada con la función del ajuste de la dislocación en las tres direcciones de X, de Y, y de Z puede terminar rápidamente el trabajo de la pre-medida tal como traducción de la etapa y concentración de la Z-dirección.
▶4,6 diseño anticolisión Evite el daño a la lente objetiva y al objeto para ser medido debido a la colisión causada por Misoperation.
▶4,7 microscopio completamente eléctrico Equipado de una serie de piezas eléctricas, estas piezas eléctricas de cerca conectadas trabajan juntas para hacer la observación rápida y simple. |
Nuestros productos se venden en todo el mundo, puede estar seguro de todo el proceso de nuestros productos.
