Microscopio óptico + atómico de la fuerza, todo junto
◆Diseño integrado de microscopio metalográfico óptico y de microscopio atómico de la fuerza, funciones potentes
◆Tiene el microscopio óptico y funciones atómicas de la proyección de imagen del microscopio de la fuerza, que pueden trabajar al mismo tiempo sin afectarse
◆Al mismo tiempo, tiene las funciones de la 2.a medida óptica y de la medida atómica del microscopio 3D de la fuerza
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◆Se integran la cabeza de la detección del laser y la etapa de la exploración de la muestra, la estructura es muy estable, y el antiinterferente es fuerte
◆El dispositivo de colocación de la punta de prueba de la precisión, ajuste de la alineación del punto de laser es muy fácil
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◆La muestra de la impulsión de solo-AXIS se acerca automáticamente a la punta de prueba verticalmente, de modo que el de punta de aguja sea perpendicular a la exploración de la muestra
◆El método de alimentación de la aguja inteligente de detección automática de cerámica piezoeléctrica a presión motor-controlada protege la punta de prueba y la muestra
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◆Sistema de colocación óptico de la ampliación ultraalta para alcanzar la colocación exacta del área de la exploración de la punta de prueba y de la muestra
◆Redactor no lineal integrado del usuario de la corrección del escáner, nanómetro
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Especificación |
A62.4500 |
A622.4501 |
A62.4503 |
A62.4505 |
Modo del trabajo |
Modo que golpea ligeramente
[Opcional] Modo de contacto Modo de la fricción Modo de la fase Modo magnético Modo electrostático |
Modo de contacto Modo que golpea ligeramente
[Opcional] Modo de la fricción Modo de la fase Modo magnético Modo electrostático |
Modo de contacto Modo que golpea ligeramente
[Opcional] Modo de la fricción Modo de la fase Modo magnético Modo electrostático |
Modo de contacto Modo que golpea ligeramente
[Opcional] Modo de la fricción Modo de la fase Modo magnético Modo electrostático |
Curva actual del espectro |
Curva de RMS-Z
[Opcional] F-Z Force Curve |
Curva de RMS-Z F-Z Force Curve |
Curva de RMS-Z F-Z Force Curve |
Curva de RMS-Z F-Z Force Curve |
Gama XY de la exploración |
20×20um |
20×20um |
50×50um |
50×50um |
Resolución XY de la exploración |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
Gama de la exploración de Z |
2.5um |
2.5um |
5um |
5um |
Resolución de la exploración de Y |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
Velocidad de la exploración |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
Ángulo de la exploración |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
Tamaño de muestra |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Mudanza XY de la etapa |
15×15m m |
15×15m m |
25×25um |
25×25um |
Diseño amortiguador |
Suspensión de la primavera |
Suspensión de la primavera Metal que protege la caja |
Suspensión de la primavera Metal que protege la caja |
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Syestem óptico |
objetivo 4x Resolución 2.5um |
objetivo 4x Resolución 2.5um |
objetivo 10x Resolución 1um |
Ocular 10x Plan LWD APO 5x10x20x50x del infinito los 5.0M Digital Camera 10" monitor LCD, con la medición Iluminación del LED Kohler Concentración gruesa y fina coaxial |
Salida |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
Software |
Triunfo XP/7/8/10 |
Triunfo XP/7/8/10 |
Triunfo XP/7/8/10 |
Triunfo XP/7/8/10 |
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Microscopio |
Microscopio óptico |
Microscopio electrónico |
Microscopio de exploración de la punta de prueba |
Max Resolution (um) |
0,18 |
0,00011 |
0,00008 |
Observación |
1500x de immersión en aceite |
Átomos de carbono del diamante de la proyección de imagen |
Átomos de carbono grafíticos de alto nivel de la proyección de imagen |
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Interacción de la Punta de prueba-muestra |
Señal de la medida |
Información |
Fuerza |
Fuerza electrostática |
Forma |
Corriente del túnel |
Actual |
Forma, conductividad |
Fuerza magnética |
Fase |
Estructura magnética |
Fuerza electrostática |
Fase |
distribución de carga |
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Resolución |
Condiciones de trabajo |
Temperation de trabajo |
Damge a muestrear |
Profundidad de la inspección |
SPM |
Atom Level 0.1nm |
Normal, líquido, vacío |
Sitio o Temperation bajo |
Ninguno |
1~2 Atom Level |
TEM |
Punto 0.3~0.5nm Enrejado 0.1~0.2nm |
Alto vacío |
Sitio Temperation |
Pequeño |
Generalmente <100nm> |
SEM |
6-10nm |
Alto vacío |
Sitio Temperation |
Pequeño |
10m m @10x 1um @10000x |
FIM |
Atom Level 0.1nm |
Alto vacío estupendo |
30~80K |
Damge |
Atom Thickness |
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