Microscopio atómico de exploración plano de la fuerza
- El diseño de la cabeza de exploración del pórtico, la base de mármol, la etapa de la adsorción del vacío, el tamaño de muestra y el peso son básicamente ilimitados
- A62.4510 + escáner independiente de tres ejes a circuito cerrado del cambio de la presión, que puede explorar con la alta precisión en una amplia gama
- Método de alimentación de la aguja inteligente con la detección automática de cerámica piezoeléctrica motor-controlada para proteger puntas de prueba y muestras
- Colocación óptica automática, ninguna necesidad para ajustar el foco, observación en tiempo real y colocación de área de exploración de la muestra de la punta de prueba
- Equipado del escudo cerrado del metal, tabla amortiguador neumática, capacidad antiinterferente fuerte
◆El primer microscopio atómico comercial de la fuerza en China para realizar la exploración móvil combinada de la punta de prueba y de la muestra;
◆El primer en China para utilizar una tabla de exploración piezoeléctrica del cambio del circuito cerrado independiente de tres ejes para alcanzar la exploración de alta precisión en grande;
◆La exploración independiente de tres ejes, XYZ no se afecta, muy conveniente para la detección tridimensional del material y de la topografía;
◆Control eléctrico de la tabla móvil de la muestra y de la tabla de elevación, que se puede programar con la posición de múltiples puntos realizar la detección automática rápida;
◆Diseño de la cabeza de exploración del pórtico, base de mármol, adsorción del vacío y etapa magnética de la adsorción;
◆El motor control automático el método de alimentación de la aguja inteligente de la detección automática de cerámica piezoeléctrica para proteger la punta de prueba y la muestra;
◆Colocación óptica auxiliar del microscopio de la alta ampliación, observación en tiempo real y colocación de la punta de prueba y del área de exploración de la muestra;
◆La etapa de exploración piezoeléctrica a circuito cerrado no requiere la corrección no lineal, y la exactitud de la caracterización y de la medida del nanómetro es mejor de 99,5%.
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A62.4510 |
A62.4511 |
Modo del trabajo |
Modo de contacto Modo que golpea ligeramente
[Opcional] Modo de la fricción Modo de la fase Modo magnético Modo electrostático |
Modo de contacto Modo que golpea ligeramente
[Opcional] Modo de la fricción Modo de la fase Modo magnético Modo electrostático |
Curva actual del espectro |
Curva de RMS-Z F-Z Force Curve |
Curva de RMS-Z F-Z Force Curve |
Modo de exploración XY |
Exploración conducida punta de prueba, Escáner piezoeléctrico del tubo |
Exploración conducida muestra, etapa piezoeléctrica de la exploración del cambio del lazo cerrado |
Gama XY de la exploración |
70×70um |
Lazo cerrado 100×100um |
Resolución XY de la exploración |
0.2nm |
Lazo cerrado 0.5nm |
Modo de exploración de Z |
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Exploración conducida punta de prueba |
Gama de la exploración de Z |
5um |
5um |
Resolución de la exploración de Z |
0.05nm |
0.05nm |
Velocidad de la exploración |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
Ángulo de la exploración |
0~360° |
0~360° |
Peso de la muestra |
≤15Kg |
≤0.5Kg |
Tamaño de la etapa |
Dia.100mm
[Opcional] Dia.200mm Dia.300mm |
Dia.100mm
[Opcional] Dia.200mm Dia.300mm |
Mudanza XY de la etapa |
100x100m m, resolución 1um
[Opcional] 200x200m m 300x300m m |
100x100m m, resolución 1um
[Opcional] 200x200m m 300x300m m |
Mudanza de la etapa Z |
15m m, resolución 10nm [Opcional] 20m m 25m m |
15m m, resolución 10nm [Opcional] 20m m 25m m |
Diseño amortiguador |
Suspensión de la primavera
[Opcional] Amortiguador de choque activo |
Suspensión de la primavera
[Opcional] Amortiguador de choque activo |
Sistema óptico |
5x objetivo los 5.0M Digital Camera
[Opcional] 10x objetivo 20x objetivo |
5x objetivo los 5.0M Digital Camera
[Opcional] 10x objetivo 20x objetivo |
Salida |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
Software |
Triunfo XP/7/8/10 |
Triunfo XP/7/8/10 |
Cuerpo principal |
Cabeza de exploración del pórtico, base de mármol |
Cabeza de exploración del pórtico, base de mármol |
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Microscopio |
Microscopio óptico |
Microscopio electrónico |
Microscopio de exploración de la punta de prueba |
Max Resolution (um) |
0,18 |
0,00011 |
0,00008 |
Observación |
1500x de immersión en aceite |
Átomos de carbono del diamante de la proyección de imagen |
Átomos de carbono grafíticos de alto nivel de la proyección de imagen |
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Interacción de la Punta de prueba-muestra |
Señal de la medida |
Información |
Fuerza |
Fuerza electrostática |
Forma |
Corriente del túnel |
Actual |
Forma, conductividad |
Fuerza magnética |
Fase |
Estructura magnética |
Fuerza electrostática |
Fase |
distribución de carga |
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Resolución |
Condiciones de trabajo |
Temperation de trabajo |
Damge a muestrear |
Profundidad de la inspección |
SPM |
Atom Level 0.1nm |
Normal, líquido, vacío |
Sitio o Temperation bajo |
Ninguno |
1~2 Atom Level |
TEM |
Punto 0.3~0.5nm Enrejado 0.1~0.2nm |
Alto vacío |
Sitio Temperation |
Pequeño |
Generalmente <100nm>
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SEM |
6-10nm |
Alto vacío |
Sitio Temperation |
Pequeño |
10m m @10x 1um @10000x |
FIM |
Atom Level 0.1nm |
Alto vacío estupendo |
30~80K |
Damge |
Atom Thickness |
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