| Función principal del software A63.7069 | ||
| Regulación de alta presión | Escaneo de línea vertical | Regulación de cambio potencial |
| Regulación de corriente de filamento | Ajuste del condensador | Medición multiescala |
| Ajuste astigmático | Ajuste eléctrico a central | Brillo/contraste automático |
| Ajuste de brillo | Ajuste de la lente del objetivo | Enfoque automático |
| ajuste de contraste | Vista previa de la foto | Eliminación automática de astigmatismo |
| Ajuste de aumento | Regla activa | Ajuste automático de filamento |
| Modo de exploración del área seleccionada | 4 Configuración de la velocidad de escaneo | Gestión de parámetros |
| Modo de escaneo de puntos | inversión de la lente del objetivo | Instantánea de imagen, congelación de imagen |
| Escaneo de superficie | Inversión del condensador | Vista rápida de una tecla |
| Escaneo de líneas horizontales | Ajuste de rotación eléctrica | |
| SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
| Resolución | 3 nm @ 30 KV (SE) 6nm@30KV (EEB) |
1,5 nm a 30 kV (SE) 3nm@30KV (EEB) |
1,0 nm a 30 kV (SE) 3,0 nm a 1 kV (SE) 2.5nm@30KV (EEB) |
| Aumento | 8x~300000x Aumento verdadero negativo | 8x~800000x Aumento verdadero negativo | Aumento verdadero negativo de 6x~1000000x |
| Pistola de electrones | Cartucho de filamento de tungsteno precentrado | Pistola de emisión de campo Schottky | Pistola de emisión de campo Schottky |
| Voltaje | Voltaje de aceleración 0~30KV, continuo ajustable, paso de ajuste 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Vista rápida | Función de imagen de vista rápida de una tecla | N / A | N / A |
| Sistema de lentes | Lente cónica electromagnética de tres niveles | Lente cónica electromagnética multinivel | |
| Abertura | 3 aberturas de objetivo de molibdeno, fuera ajustable del sistema de vacío, no es necesario desmontar el objetivo para cambiar la abertura | ||
| Sistema de vacío | 1 bomba turbomolecular 1 bomba mecánica Vacío de sala de muestra>2.6E-3Pa Electron Gun Room Vacío>2.6E-3Pa Control de vacío completamente automático Función de interbloqueo de vacío Modelo opcional: A63.7069-LV 1 bomba turbomolecular 2Bombas mecánicas Vacío de sala de muestra>2.6E-3Pa Electron Gun Room Vacío>2.6E-3Pa Control de vacío completamente automático Función de interbloqueo de vacío Vacío bajoRango 10 ~ 270 Pa para cambio rápido en 90 segundos para BSE (LV) |
1 juego de bomba de iones 1 bomba turbomolecular 1 bomba mecánica Vacío de sala de muestras>6E-4Pa Cámara Electron Gun Vacío>2E-7 Pa Control de vacío completamente automático Función de interbloqueo de vacío |
1 bomba de iones de pulverización catódica 1 bomba compuesta iónica Getter 1 bomba turbomolecular 1 bomba mecánica Vacío de sala de muestras>6E-4Pa Cámara Electron Gun Vacío>2E-7 Pa Control de vacío completamente automático Función de interbloqueo de vacío |
| Detector | SE: Detector de electrones secundarios de alto vacío (con protección de detector) | SE: Detector de electrones secundarios de alto vacío (con protección de detector) | SE: Detector de electrones secundarios de alto vacío (con protección de detector) |
| EEB: Semiconductor 4 Segmentación Detector de dispersión trasera Modelo opcional: A63.7069-LV EEB (LV): Semiconductor 4 Segmentación Detector de dispersión trasera |
Opcional | Opcional | |
| CCD:Cámara CCD infrarroja | CCD:Cámara CCD infrarroja | CCD:Cámara CCD infrarroja | |
| Ampliar puerto | 2 Puertos de extensión en la sala de muestras para EDS, BSD, WDS, etc. |
4 Puertos de extensión en la sala de muestras para EEB, EDS, BSD, WDS, etc. |
4 Puertos de extensión en la sala de muestras para EEB, EDS, BSD, WDS, etc. |
| Etapa del espécimen | Escenario de 5 ejes, 4Auto+1ManualControl Rango de viaje: X=70 mm, Y=50 mm, Z=45 mm, R=360°, T=-5°~+90°(Manual) Función de alerta y parada táctil |
5 ejesAuto MedioEscenario Rango de viaje: X=80 mm, Y=50 mm, Z=30 mm, R=360°, T=-5°~+70° Función de alerta y parada táctil Modelo opcional: A63.7080-M5 ejesManualEscenario A63.7080-L5 ejesAuto LargoEscenario |
5 ejesAuto LargoEscenario Rango de viaje: X=150 mm, Y=150 mm, Z=60 mm, R=360°, T=-5°~+70° Función de alerta y parada táctil |
| Espécimen máximo | Diámetro 175 mm, Altura 35 mm | Diámetro 175 mm, Altura 20 mm | Diámetro 340 mm, Altura 50 mm |
| Sistema de imagen | Resolución máxima de imagen fija real 4096x4096 píxeles, Formato de archivo de imagen: BMP (predeterminado), GIF, JPG, PNG, TIF |
Resolución máxima de imagen fija real 16384x16384 píxeles, Formato de archivo de imagen: TIF (predeterminado), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Grabación automática de video digital .AVI |
Resolución máxima de imagen fija real 16384x16384 píxeles, Formato de archivo de imagen: TIF (predeterminado), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Grabación automática de video digital .AVI |
| Software de ordenador | PC Work Station Win 10 System, con software de análisis de imagen profesional para controlar completamente el funcionamiento completo del microscopio SEM, especificación de computadora no menos que Inter I5 3.2GHz, memoria 4G, monitor LCD IPS de 24", disco duro de 500G, mouse, teclado | ||
| Exhibición de fotos | El nivel de imagen es rico y meticuloso, mostrando aumento en tiempo real, regla, voltaje, curva gris | ||
| Dimensión & Peso |
Cuerpo de microscopio 800x800x1850mm Mesa de Trabajo 1340x850x740mm Peso Total 400Kg |
Cuerpo de microscopio 800x800x1480mm Mesa de Trabajo 1340x850x740mm Peso Total 450Kg |
Cuerpo de microscopio 1000x1000x1730mm Mesa de Trabajo 1330x850x740mm Peso Total 550Kg |
| Accesorios Opcionales | |||
| Accesorios Opcionales | A50.7002Espectrómetro de rayos X de dispersión de energía EDS A50.7011Recubridor de pulverización iónica |
A50.7001Detector de electrones de retrodispersión BSE A50.7002Espectrómetro de rayos X de dispersión de energía EDS A50.7011Recubridor de pulverización iónica A50.7030Panel de control motorizado |
A50.7001Detector de electrones de retrodispersión BSE A50.7002Espectrómetro de rayos X de dispersión de energía EDS A50.7011Recubridor de pulverización iónica A50.7030Panel de control motorizado |
| A50.7001 | Detector de EEB | Detector de dispersión trasera de cuatro segmentos de semiconductores; Disponible en Ingredientes A+B, Información de Morfología AB; Muestra disponible Observar sin pulverización de oro; Disponible en Observar la impureza y la distribución desde el mapa en escala de grises directamente. |
| A50.7002 | EDS (detector de rayos X) | Ventana de nitruro de silicio (Si3N4) para optimizar la transmisión de rayos X de baja energía para el análisis de elementos ligeros; Excelente resolución y su electrónica avanzada de bajo ruido proporcionan un rendimiento de rendimiento excepcional; El tamaño reducido ofrece flexibilidad para garantizar la geometría ideal y las condiciones de recolección de Aata; Los detectores contienen un chip de 30 mm2. |
| A50.7003 | EBSD (Difracción retrodispersada por haz de electrones) | el usuario podría analizar la orientación del cristal, la fase del cristal y la micro textura de los materiales y el rendimiento de los materiales relacionados, etc. optimización automática de la configuración de la cámara EBSD durante la recopilación de datos, realice un análisis interactivo en tiempo real para obtener la máxima información todos los datos se marcaron con una etiqueta de tiempo, que se puede ver en cualquier momento alta resolución 1392 x 1040 x 12 Velocidad de escaneo e índice: 198 puntos / seg, con Ni como estándar, bajo la condición de 2 ~ 5nA, puede garantizar la tasa de índice ≥99%; funciona bien en condiciones de corriente de haz bajo y bajo voltaje de 5kV a 100pA precisión de medición de orientación: mejor que 0,1 grados Usando el sistema de índice triplex: no es necesario confiar en la definición de una sola banda, indexación fácil de la mala calidad del patrón base de datos dedicada: base de datos especial EBSD obtenida por difracción de electrones: >400 estructura de fase Capacidad de índice: puede indexar automáticamente todos los materiales de cristal de 7 sistemas de cristal. Las opciones avanzadas incluyen el cálculo de la rigidez elástica (Elastic Stiffness), el factor de Taylor (Taylor), el factor de Schmidt (Schmid), etc. |
| A50.7010 | Máquina de recubrimiento | Carcasa protectora de vidrio: ∮250 mm;340 mm de alto; Cámara de procesamiento de vidrio: ∮88 mm;140 mm de altura, ∮88 mm;57 mm de alto; Tamaño de la etapa del espécimen: ∮40 mm (máx.); Sistema de vacío: bomba molecular y bomba mecánica; Detección de vacío: Pirani Gage; Vacío: mejor que 2 X 10-3 Pa; Protección al Vacío: 20 Pa Con Válvula de Inflado a Microescala; Movimiento de la muestra: rotación plana, precesión de inclinación. |
| A50.7011 | Recubridor de pulverización iónica | Cámara de procesamiento de vidrio: ∮100 mm;130 mm de alto; Tamaño de la etapa del espécimen: ∮40 mm (capacidad para 6 copas de espécimen); Tamaño del objetivo dorado: ∮58 mm * 0,12 mm (grosor); Detección de vacío: Pirani Gage; Protección al Vacío: 20 Pa Con Válvula de Inflado a Microescala; Gas medio: argón o aire con entrada de aire especial de gas argón y regulación de gas en microescala. |
| A50.7012 | Recubridor de pulverización catódica de iones de argón | La muestra se recubrió con carbono y oro a alto vacío; Mesa giratoria para muestras, revestimiento uniforme, tamaño de partícula de aproximadamente 3-5 nm; Sin selección de material objetivo, sin daño a las muestras; Se pueden realizar las funciones de limpieza de iones y adelgazamiento de iones. |
| A50.7013 | Secador de Punto Crítico | Diámetro interior: 82 mm, Longitud interior: 82 mm; Rango de presión: 0-2000 psi; Rango de temperatura: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Litografía por haz de electrones | Basado en el microscopio electrónico de barrido, se desarrolló un nuevo sistema de nanoexposición; La modificación ha mantenido todas las funciones Sem para hacer una imagen de ancho de línea a nanoescala; El sistema Ebl modificado ampliamente aplicado en dispositivos microelectrónicos, dispositivos optoelectrónicos, dispositivos cuánticos, sistema de microelectrónica R&D. |
| A63.7069 Conjunto de consumibles estándar | |||
| 1 | Filamento de tungsteno | Precentrado, Importado | 1 caja (5 piezas) |
| 2 | Copa de muestra | Diámetro 13 mm | 5 piezas |
| 3 | Copa de muestra | Diámetro 32 mm | 5 piezas |
| 4 | Cinta conductora de doble cara de carbono | 6 mm | 1 paquete |
| 5 | Grasa de vacío | 10 piezas | |
| 6 | Paño sin pelo | 1 tubo | |
| 7 | Pasta para pulir | 1 PC | |
| 8 | Caja de muestra | 2 bolsas | |
| 9 | Bastoncillo de algodón | 1 PC | |
| 10 | Filtro de neblina de aceite | 1 PC | |
| A63.7069 Conjunto de herramientas y piezas estándar | |||
| 1 | Llave hexagonal interior | 1,5 mm ~ 10 mm | 1 juego |
| 2 | Pinzas | Longitud 100-120 mm | 1 PC |
| 3 | Destornillador ranurado | 2*50mm, 2*125mm | 2 piezas |
| 4 | destornillador cruzado | 2*125 mm | 1 PC |
| 5 | Removedor de diafragma | 1 PC | |
| 6 | varilla de limpieza | 1 PC | |
| 7 | Herramienta de ajuste de filamento | 1 PC | |
| 8 | Junta de ajuste de filamento | 3 piezas | |
| 9 | extractor de tubos | 1 PC | |
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